安全度等级（SIL）：SIL 3（IEC 61508）。
性能等级（ PL）：PL e（EN/ISO 13849-1）。
运算控制方式：存储程序反复运算。
程序容量：160K（安全程序用：40K）。
程序内存：640K。
软元件/标签内存：1710K。
数据内存：10M。
将安全功能整合到控制系统中R16SFCPU
可将以往的MELSEC iQ-R系列模块作为一般控制用途，
在同一基板上使用，因此可构建混合使用一般控制和安全控制的系统。
而且，可通过CC-Link IE Field网络整合一般通信和安全通信，
在进行安全通信时，也可使用一般的以太网电缆，
无需使用专用电缆等。
符合国际安全标准的安全CPU可同时控制一般系统和安全系统。
可通过CC-Link IE Field网络，
将安全开关和安全光幕等连接到使用了安全CPU的系统，
构建混合使用一般控制和安全控制的系统。
此外，通过使用操作直观的工程软件GX Works3，
集中进行一般控制和安全控制的编程。内存容量：256MB。
作为MELSEC iQ-R系列的特定功能CPU模块之一，新增了C语言控制器模块。
基于多核ARM®开发出的C语言控制器可同时执行多个程序。
此外，兼具坚固性和定时性的C语言控制器还可用作代替计算机/微机的平台。
而且， C语言控制器采用了无风扇构造，不会扬起灰尘，适合在微芯片工厂等清洁环境中使用。
发挥MELSEC iQ-R系列、 灵活、 坚固的特点，可在各种工业用途上实现自动化。
可简单运用3种工具软件。
C语言控制器上已安装了内嵌各种驱动程序的实时OS。可通过专用函数轻松访问各种模块，
无需开发驱动程序和安装新的OS，通过专用函数即可访问各种模块，
可简单部署，降低成开发成本。
可运用CW Workbench（编程软件）、 CW Configurator（设定、工具）和CW-Sim（ VxWorks®的模拟工具），
为C语言程序开发提供强力支持。
可轻松编程，对微处理器无限制。
通过使用C语言控制器模块专用函数（ CCPU函数）、 MELSEC通信函数（ MD函数），
可轻松访问C语言控制器模块、 I/O模块、智能功能模块、网络模块、可编程控制器CPU和运动CPU等，
创建使用可编程控制器设备的应用程序。
可使用CW Configurator进行参数设定、诊断、。
使用CW Configurator，
可轻松地对以C语言控制器模块为首的各种MELSEC iQ-R/Q系列模块（网络模块、智能功能模块、输入输出模块等）进行参数设定、诊断、、测试。
CW Configurator的操作与MELSEC iQ-R用编程软件GX Works3的操作类似。